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承接实验室不锈钢管路安装工程

上海多赢公司承接实验室特气系统不锈钢工艺气体管路安装工程

 

工业气体实验室气体管道业务介绍
上海多赢机电设备有限公司,专业从事工业气体及实验室气体供气系统咨询、设计、安装、维护、和气体设备、管道配件的销售。真诚期待您的垂询!021-59106012!所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(POU),为了达到工艺对气体的质量要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工质量。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
 
  

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择高等级的316L EP管,经电解抛光(Electro-Polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,Rmax(maximum peak to valley height)约为0.3μm以下,其值远低于经过光亮退火(Bright Anneal)处理之316L BA管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316L BA管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如GN2、CDA。管内表面粗糙度是衡量管材质量的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性大大降低。另一种未经特殊处理的AP管(Annealing & Picking),则用于不做为供气管路的双套外管。 

目前在国内洁净管道可参照标准比较少,通常我们除了参照《洁净厂房设计规范》《氢气站设计规范》《氢氧站设计规范》《压缩空气设计规范》等有关技术行业技术规范外,在业内我们惯用的选材与配管一般参照国际通用的行业标准:
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量的要求也越来越高。表1是各线宽下对超纯氮气的要求:
 
高纯氮气(PN2):
系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(N2):
系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管或光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(PH2)氢气(H2):
系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氩气(Ar):
系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氦气(He):
系统管道采用内壁电解抛光(EP)低碳(316L不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:
必要的还需做双套管:外管酸洗钝化(AP)处理,内管电解抛光(EP),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
压缩空气(CDA):
系统管道采用光亮退火(BA)低碳(316L)不锈钢管,阀门采用相同材质的球阀(要求不高的公司亦可采用铜管,视工艺要求定)
 
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用大大增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全隐患。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性大大提高。
针对腐蚀性、毒性、燃烧性的气体,通常设计将钢瓶置于气瓶柜(Gas Cabinet)内,再透过管路将气体供应至现场附近的阀箱(VMB, Valve Manifold Box),而后再进入制程机台的使用点(POU, Point of Use),于进入机台腔体之前,会有独立的气体控制盘(GB, Gas Box)与制程控制模块联机,以质流控制器(MFC, Mass Flow Controller)进行流量之控制与进气的混合比例控制,通常此气体控制盘不属于厂务系统的设计范畴,而是归属制程机台设备的一部份。一般的惰性气体则是以开放式的气瓶架(Gas Rack)与阀盘(VMP, Valve Manifold Panel)进行供应。
 
 
超洁净不锈钢管道、管件、阀门的定义用途:不锈钢洁净管道用于输送半导体业中高纯或超纯洁净气体,及生物制药产业中洁净管道(各种水)。
表面处理方式、RA 值的比较(Roughness Average,粗糙度平均值):
材质
表面处理方式
内表面粗糙度平均值(um
316L
AP
RA=1.0
316L
BA
RA=0.8
316L
EP
RA=0.13-0.2
 
纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分,是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术;所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求,使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理作个简单的概述。 
常见气体的种类:
电子行业中常见气体的分类:
普通气体,也称大宗气体Bulk gas ):氢气(H2)、氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(A2)等
 
特种气体(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
 
特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半导体气体分类如下:
()、腐蚀性 / 毒性:HCl BF3 WF6HBrSiH2Cl2NH3 PH3Cl2 BCl3 …
()、可燃性:H2 CH4 SiH4PH3AsH3SiH2Cl2B2H6CH2F2CH3FCO…
()、助燃性:O2Cl2N2ONF3…
()、惰性:N2CF4C2F6C4F8SF6CO2NeKrHe…

半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性,只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应,开始燃烧;还有AsH3的剧毒性,任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害,也就是因为这些显而易见的危险,所以对于系统设计安全性的要求就特别高。 
气体的应用范围
 
气体产品作为现代工业重要的基础原料,应用范围十分广泛,在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门,均使用大量的常用气体或特种气体。气体的应用,特别对这些领域的高新技术有重要的影响,是其不可缺少的原料气或工艺气。也只有各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动,气体工业产品才能在品种、质量和数量等方面得到飞跃发展。
承接工业气体和实验室气体洁净和超高纯气体不锈钢管路工程,采用自熔轨道焊接工艺,我公司拥有德国和美国进口切割和焊接设备,专业的施工人员按照美国和欧洲标准进行管道施工。如欲了解更多详情,请咨询我公司。

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